Формирование твёрдых и сверхтвёрдых наноструктурированных трёхкомпонентных покрытий на основе титана методом реактивного магнетронного осаждения

Abstract

Выполнены исследования свойств комплекса «подложка−покрытие» для установления влияния легирующих элементов и их концентрации на эксплуатационные характеристики покрытий. Объектом исследования явились покрытия из наноструктурированных плёнок на основе нитрида титана, легированные кремнием, хромом, алюминием. Создание переходного слоя проводилось плавным изменением подачи азота в вакуумную камеру при нанесении. Наносились покрытия TiN, TiSiN, TiCrN, TiAlN. Проведено изучение структуры, элементного и фазового состава покрытий. Исследованы эксплуатационные характеристики покрытий. Полученные результаты могут быть использованы в полупроводниковой технике, изделиях машиностроения и в космической технике.