Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/337747| Title: | Лазерная обработка поверхности карбида кремния |
| Other Titles: | Laser Treatment of Surface of Silicon Carbide / G. A. Gusakov, S. V. Koryakin, G. V. Sharonov, O. V. Korolik, S. A. Sharko, S. S. Nagaljuk |
| Authors: | Гусаков, Г. А. Корякин, С. В. Шаронов, Г. В. Королик, О. В. Шарко, С. А. Нагалюк, С. С. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Квантовая электроника : материалы XV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 18–20 нояб. 2025 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: А. А. Афоненко (гл. ред.), М. М. Кугейко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2025. – С. 421-425. |
| Abstract: | Исследованы процессы взаимодействия излучения импульсного волоконного лазер с длиной волны λ = 1,07 мкм с поверхностью карбида кремния. Показана возможность лазерной полировки карбида кремния без повреждения структуры поверхностного слоя. Данная технология представляет интерес для получения подложек из карбида кремния с атомно-гладкой поверхностью для изделий оптоэлектроники |
| Abstract (in another language): | The interaction of pulsed fiber laser radiation with a wavelength of λ = 1.07 μm with a silicon carbide surface was studied. The possibility of laser polishing of silicon carbide without damaging the surface layer structure was demonstrated. This technology is of interest for producing silicon carbide with atomically smooth surfaces for optoelectronic devices |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/337747 |
| ISBN: | 978-985-881-861-6 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2025. Квантовая электроника |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 421-425.pdf | 1,72 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.