Исследование возможности напыления нанопленок из оксидов титана, легированных алюминием, при распылении титана и алюминия сдвоенными лазерными импульсами в атмосфере воздуха

Ермалицкая, К. Ф.; Шерба, У. К.; Красноперов, Н. Н.; Воропай, Е. С.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/337742

Title:	Исследование возможности напыления нанопленок из оксидов титана, легированных алюминием, при распылении титана и алюминия сдвоенными лазерными импульсами в атмосфере воздуха
Other Titles:	Study of the influence of the ablation angle on the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with zinc during laser sputtering of copper and zinc in air / K. F. Ermalitskaia, U. K. Shcherba, N. N. Krasnoperov, E. S. Voropay
Authors:	Ермалицкая, К. Ф. Шерба, У. К. Красноперов, Н. Н. Воропай, Е. С.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date:	2025
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Квантовая электроника : материалы XV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 18–20 нояб. 2025 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: А. А. Афоненко (гл. ред.), М. М. Кугейко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2025. – С. 401-405.
Abstract:	Исследованы возможности получения нанопленок из оксидов титана, легированных алюминием, при абляции сдвоенными лазерными импульсами гибридной мишени, состоящей из пластинок титана и алюминия, склеенных между собой для проведения исследований использовали лазерный многоканальный атомно-эмиссионный спектрометр LSS-1. Проведены исследования влияния интервала между сдвоенными импульсами, количества импульсов и угла воздействия излучения на мишень на процессы при целенаправленном формирование компонентного и зарядового состава лазерного факела направляемого на подложку
Abstract (in another language):	Studies have been carried out of the influence of the number of pulses and the angle of radiation exposure on the target on the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with zinc during ablation with dual laser pulses of a hybrid target consisting of sequentially glued copper and zinc plates on a substrate made of copper-foiled fiberglass in an air atmosphere. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/337742
ISBN:	978-985-881-861-6
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:	2025. Квантовая электроника

Files in This Item:

File	Size	Format
401-405.pdf	1,77 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar