Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/337742
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЕрмалицкая, К. Ф.
dc.contributor.authorШерба, У. К.
dc.contributor.authorКрасноперов, Н. Н.
dc.contributor.authorВоропай, Е. С.
dc.date.accessioned2025-11-26T12:43:01Z-
dc.date.available2025-11-26T12:43:01Z-
dc.date.issued2025
dc.identifier.citationКвантовая электроника : материалы XV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 18–20 нояб. 2025 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: А. А. Афоненко (гл. ред.), М. М. Кугейко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2025. – С. 401-405.
dc.identifier.isbn978-985-881-861-6
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/337742-
dc.description.abstractИсследованы возможности получения нанопленок из оксидов титана, легированных алюминием, при абляции сдвоенными лазерными импульсами гибридной мишени, состоящей из пластинок титана и алюминия, склеенных между собой для проведения исследований использовали лазерный многоканальный атомно-эмиссионный спектрометр LSS-1. Проведены исследования влияния интервала между сдвоенными импульсами, количества импульсов и угла воздействия излучения на мишень на процессы при целенаправленном формирование компонентного и зарядового состава лазерного факела направляемого на подложку
dc.language.isoru
dc.publisherМинск : БГУ
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
dc.titleИсследование возможности напыления нанопленок из оксидов титана, легированных алюминием, при распылении титана и алюминия сдвоенными лазерными импульсами в атмосфере воздуха
dc.title.alternativeStudy of the influence of the ablation angle on the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with zinc during laser sputtering of copper and zinc in air / K. F. Ermalitskaia, U. K. Shcherba, N. N. Krasnoperov, E. S. Voropay
dc.typeconference paper
dc.description.alternativeStudies have been carried out of the influence of the number of pulses and the angle of radiation exposure on the target on the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with zinc during ablation with dual laser pulses of a hybrid target consisting of sequentially glued copper and zinc plates on a substrate made of copper-foiled fiberglass in an air atmosphere. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed
Располагается в коллекциях:2025. Квантовая электроника

Полный текст документа:
Файл РазмерФормат 
401-405.pdf1,77 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.