Оптическая неоднородность легированных кремниевых подложек

Шилов, А. В.; Стаськов, Н. И.; Сотский, А. Б.; Пилипенко, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Мельников, С. А.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/337712

Title:	Оптическая неоднородность легированных кремниевых подложек
Other Titles:	Optical inhomogeneity of doped silicon substrates / A. V. Shilov, N. I. Staskov, A. B. Sotsky, V. A. Pilipenko, A. N. Petlitsky, S. A. Melnikov
Authors:	Шилов, А. В. Стаськов, Н. И. Сотский, А. Б. Пилипенко, В. А. Петлицкий, А. Н. Мельников, С. А.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date:	2025
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Квантовая электроника : материалы XV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 18–20 нояб. 2025 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: А. А. Афоненко (гл. ред.), М. М. Кугейко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2025. – С. 273-277.
Abstract:	В работе представлены результаты исследования оптических характеристик легированных кремниевых пластин КДБ-12 и КЭС-0.015 после быстрого термического отжига. На основе данных спектральной эллипсометрии и фотометрии определены ширина запрещённой зоны и энергия Урбаха. Установлено, что ширина запрещённой зоны для чистого кремния в обоих образцах одинакова, однако энергия Урбаха для КДБ-12 превышает значение для КЭС-0.015 из-за более высокой концентрации бора по сравнению с концентрацией сурьмы
Abstract (in another language):	This paper presents the results of a study of the optical characteristics of doped KDB-12 and KES-0.015 silicon wafers after rapid thermal annealing. Using spectral ellipsometry and photometry, the band gap and Urbach energy were determined. It was found that the band gap for pure silicon is the same in both samples; however, the Urbach energy for KDB-12 exceeds that of KES-0.015 due to the higher boron concentration compared to the antimony concentration
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/337712
ISBN:	978-985-881-861-6
Sponsorship:	Работа выполнена в рамках Государственной программы научных исследований РБ «1.15 Фотоника и электроника для инноваций».
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:	2025. Квантовая электроника

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
273-277.pdf		1,84 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar