Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/334895| Заглавие документа: | Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов титана при лазерном распылении титана в атмосфере воздуха |
| Другое заглавие: | Study of the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from titanium oxides by laser sputtering of titanium in air atmosphere |
| Авторы: | Красноперов, Н. Н. Воропай, Е. С. Ермалицкая, К. Ф. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2025 |
| Библиографическое описание источника: | Сб. Материалов VIII Междунар. науч.-практ. конференции "Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики, аэрокосмических технологий и физики конденсированного состояния" , 22–23 мая 2025 г. Минск, c. 452-454 |
| Аннотация: | Проведены исследования влияния энергии, количества импульсов и угла воздействия излучения на мишень из титана марки ВТ1-0 на процессы при целенаправ- ленном формирование компонентного и зарядового состава лазерного факела, направля- емого на подложку методом лазерной искровой спектрометрии (спектрометр LSS-1). Изучены возможности получения газочувствительных нанопленочных резисторов из ок- сидов титана, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами титановой мишени на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Резистор напы- лен на дорожку шириной 300 мкм изготовленной в медной фольге на мишени из фоль- гированного стеклотекстолите. Оценены параметры чувствительности сенсора на ам- миак, воду, уксусную кислоту. |
| Аннотация (на другом языке): | The influence of energy, number of pulses and angle of radiation impact on a target made of VT1-0 titanium on the processes during targeted formation of the component and charge composition of a laser torch directed onto a substrate by the method of laser spark spec- trometry (LSS-1 spectrometer) was studied. The possibilities of obtaining gas-sensitive nano- film resistors from titanium oxides by the method of ablation with double laser pulses of a titanium target on a substrate of foil-clad fiberglass in an air atmosphere were studied. The resistor was deposited on a 300-μm-wide track made in copper foil on a target of foil-clad fi- berglass. The resistor is deposited on a 300 µm wide track made in copper foil on a target made of foil-clad fiberglass. The sensor sensitivity parameters for ammonia, water, and acetic acid are estimated. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/334895 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи) |
Полный текст документа:
Нет файлов, ассоциированных с этим документом.
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.