Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов титана при лазерном распылении титана в атмосфере воздуха

Красноперов, Н. Н.; Воропай, Е. С.; Ермалицкая, К. Ф.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/334895

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Красноперов, Н. Н.	-
dc.contributor.author	Воропай, Е. С.	-
dc.contributor.author	Ермалицкая, К. Ф.	-
dc.date.accessioned	2025-09-26T09:40:21Z	-
dc.date.available	2025-09-26T09:40:21Z	-
dc.date.issued	2025	-
dc.identifier.citation	Сб. Материалов VIII Междунар. науч.-практ. конференции "Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики, аэрокосмических технологий и физики конденсированного состояния" , 22–23 мая 2025 г. Минск, c. 452-454	ru
dc.identifier.uri	https://elib.bsu.by/handle/123456789/334895	-
dc.description.abstract	Проведены исследования влияния энергии, количества импульсов и угла воздействия излучения на мишень из титана марки ВТ1-0 на процессы при целенаправ- ленном формирование компонентного и зарядового состава лазерного факела, направля- емого на подложку методом лазерной искровой спектрометрии (спектрометр LSS-1). Изучены возможности получения газочувствительных нанопленочных резисторов из ок- сидов титана, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами титановой мишени на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Резистор напы- лен на дорожку шириной 300 мкм изготовленной в медной фольге на мишени из фоль- гированного стеклотекстолите. Оценены параметры чувствительности сенсора на ам- миак, воду, уксусную кислоту.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.rights	info:eu-repo/semantics/restrictedAccess	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов титана при лазерном распылении титана в атмосфере воздуха	ru
dc.title.alternative	Study of the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from titanium oxides by laser sputtering of titanium in air atmosphere	ru
dc.type	conference paper	ru
dc.rights.license	CC BY 4.0	ru
dc.description.alternative	The influence of energy, number of pulses and angle of radiation impact on a target made of VT1-0 titanium on the processes during targeted formation of the component and charge composition of a laser torch directed onto a substrate by the method of laser spark spec- trometry (LSS-1 spectrometer) was studied. The possibilities of obtaining gas-sensitive nano- film resistors from titanium oxides by the method of ablation with double laser pulses of a titanium target on a substrate of foil-clad fiberglass in an air atmosphere were studied. The resistor was deposited on a 300-μm-wide track made in copper foil on a target of foil-clad fi- berglass. The resistor is deposited on a 300 µm wide track made in copper foil on a target made of foil-clad fiberglass. The sensor sensitivity parameters for ammonia, water, and acetic acid are estimated.	ru
Appears in Collections:	Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи)

Files in This Item:

There are no files associated with this item.

Show simple item record Google Scholar