Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/329611| Title: | Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов титана при лазерном распылении титана в атмосфере воздуха |
| Other Titles: | Study of the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from titanium oxides by laser sputtering of titanium in air atmospheren / K. F. Ermalitskaia, E. S. Voropay, N. N. Krasnoperov, A. P. Zazhogin |
| Authors: | Ермалицкая, К. Ф. Воропай, Е. С. Красноперов, Н. Н. Зажогин, А. П. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 417-422. |
| Abstract: | Изучены возможности получения газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов титана, с достаточно хорошими механическими и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами титановой мишени на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены исследования влияния количества импульсов и угла воздействия излучения на мишень, на процессы при целенаправленном формировании компонентного и зарядового состава лазерного факела, направляемого на подложку, и качество пленки. Резистор напыляется на дорожку шириной 300 мкм, изготовленную в медной фольге на мишени из фольгированного стеклотекстолита. Проведены исследования влияния количества импульсов на процессы при целенаправленном формировании компонентного и зарядового состава лазерного факела, направляемого на подложку. Оценены временные параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду |
| Abstract (in another language): | The possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm resistors from titanium oxides with sufficiently good mechanical and sensitive characteristics were studied by the method of ablation of a titanium target with double laser pulses on a substrate made of foil-clad fiber-glass in an air atmosphere. The influence of the number of pulses and the angle of radiation impact on the target on the processes during the targeted formation of the component and charge composition of the laser torch directed to the substrate and the quality of the film were studied. The resistor is deposited on a 300 μm wide track made in copper foil on a target made of foil-clad fiberglass. The influence of the number of pulses on the processes during the targeted formation of the component and charge composition of the laser torch directed to the substrate were studied. The time parameters of the sensor sensitivity to ammonia and water were estimated |
| Description: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/329611 |
| ISBN: | 978-985-881-739-8 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2024. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 417-422.pdf | 436,9 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.