Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/329602| Title: | Оптимизация режима ионного потока на подложке для нанесения нанопленок с помощью лазерно-плазменного источника при пониженных ускоряющих электрических полях |
| Other Titles: | Optimization of the regime of a ion flow to the substrate at low accelerating potentials in a laser-plasma source for the formation of nanofilms / V. K. Goncharov, M. V. Puzyrev |
| Authors: | Гончаров, В. К. Пузырев, М. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 383-386. |
| Abstract: | Эксперименты показали, что происходит искажение временной формы импульса ионного тока при малых (вплоть до ноля) ускоряющих потенциалах электрического поля в промежутке сетка- подложка в лазерно-плазменном источнике для нанесения нанопокрытий. Найден механизм искажения временной формы импульса ионного тока и предложен способ его устранения. КПД процесса нанесения нанопленок повышается при устранении искажения формы первоначального импульса ионного тока. Это позволяет с помощью лазерно-плазменного источника ионов получать на поверхности подложки тонкие равномерные нанопленки |
| Abstract (in another language): | Experiments have shown that the time shape of the ion current pulse is distorted at low (up to zero) accelerating potentials of the electric field in the grid-substrate interval in the laser-plasma source for depositing nanocoatings. The mechanism of distortion of the time shape of the ion current pulse is found and a method for its elimination is proposed. The efficiency of the nanofilms deposition process increases when the distortion of the shape of the initial ion current pulse is eliminated. This makes it possible to obtain thin uniform nanofilms on the substrate surface using a laser-plasma ion source |
| Description: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/329602 |
| ISBN: | 978-985-881-739-8 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2024. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 383-386.pdf | 353,59 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.