Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/329563Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | |
| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | |
| dc.contributor.author | Пантелеев, К. В. | |
| dc.contributor.author | Микитевич, В. А. | |
| dc.contributor.author | Гусев, О. К. | |
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | |
| dc.date.accessioned | 2025-05-22T14:49:10Z | - |
| dc.date.available | 2025-05-22T14:49:10Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | |
| dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 205-210. | |
| dc.identifier.isbn | 978-985-881-739-8 | |
| dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/329563 | - |
| dc.description | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе | |
| dc.description.abstract | Для повышения быстродействия при картировании дефектов поверхности полупроводниковой пластины методом сканирующего зонда Кельвина предложено использование невибрирующего электрометрического зонда. По результатам полунатурного моделирования показано, что получаемое с помощью такого зонда градиентное электропотенциальное изображение обеспечивает эффективное выявление таких дефектов, как кристаллические дислокации и локальные загрязнения поверхности полупроводниковой пластины. Путем интегрирования измерительного сигнала невибрирующего зонда может быть получена также карта распределения контактной разности потенциалов, аналогичная получаемой традиционным методом вибрирующего зонда Кельвина-Зисмана, что позволяет выявлять также такие дефекты, как неравномерность эквивалентной электрической толщины окисла или неравномерность распределения примеси | |
| dc.language.iso | ru | |
| dc.publisher | Минск : БГУ | |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | |
| dc.title | Градиентные электропотенциальные изображения в неразрушающем контроле поверхности полупроводниковых структур | |
| dc.title.alternative | Gradient electropotential images in non-destructive mapping of semiconductor structures’ surface / A. K. Tyavlovsky, A. L. Zharin, K. V. Pantsialeyeu, V. A. Mikitsevich, O. K. Gusev, R. I. Vorobey | |
| dc.type | conference paper | |
| dc.description.alternative | To increase the speed of mapping surface defects of semiconductor wafer with a scanning Kelvin probe a non-vibrating electrometric probe technique is proposed. Based on the results of semi-natural modeling, it is shown that the gradient electropotential image obtained using such a probe provides effective detection of defects such as crystalline dislocations and local contamination of the surface of the semiconductor wafer. By integrating the measuring signal of a non-vibrating probe, a map of the distribution of the contact potential difference can also be obtained, similar to that obtained by the traditional Kelvin-Zisman vibrating probe technique, which also makes it possible to detect defects such as unevenness of the equivalent electrical thickness of the oxide or unevenness of impurity distribution | |
| Располагается в коллекциях: | 2024. Материалы и структуры современной электроники | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 205-210.pdf | 417,62 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.