Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/329495
Title: | Кремниевый термооптический интерферометр по схеме Маха-Цендера: конструкция и дизайн устройства |
Other Titles: | Silicon thermo-optical interferometer based on the Mach-Zehnder scheme: construction and design of the device / G. A. Lemeshevskaya, A. A. Skrylev, A. V. Nezhdanov, K. V. Sidorenko, A. I. Bobrov, D. E. Nikolichev |
Authors: | Лемешевская, Г. А. Скрылев, А. А. Нежданов, А. В. Сидоренко, К. В. Бобров, А. И. Николичев, Д. Е. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2025 |
Publisher: | Минск : БГУ |
Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 478-482. |
Abstract: | Создана математическая модель термооптического интерферометра Маха-Цендера, выполненного по технологии «кремний на изоляторе». Модель позволяет прогнозировать распределении тепла в субмикронной структуре при её нагреве, а также связанное с этим изменение оптических характеристик исследуемой микросистемы. Проведено сравнение расчетных результатов с экспериментальными данными. Результаты анализа позволили найти калибровочный коэффициент для математической модели, с использованием которых возможно достоверно прогнозировать поведение схожих планарных оптических систем, работающих на термооптическом эффекте. При этом в расчётах могут варьироваться параметры активной области: её материал, форма и топология |
Abstract (in another language): | A mathematical model of a Mach-Zehnder thermo-optical interferometer made using the silicon-on-insulator technology has been developed. The model allows one to predict the heat distribution in a submicron structure during its heating, as well as the associated change in the optical characteristics of the microsystem under study. The calculated results have been compared with the experimental data. The results of the analysis allowed us to find a calibration coefficient for a mathematical model, using which it is possible to reliably predict the behavior of similar planar optical systems operating on the thermo-optical effect. In this case, the parameters of the active region can vary in the calculations: its material, shape and topology |
Description: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/329495 |
ISBN: | 978-985-881-739-8 |
Sponsorship: | В части математического моделирования работа выполнена при поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации, проект № FSWR-2022-0007. В части эксперимента исследование выполнено в рамках научной программы Национального центра физики и математики, направление № 1 «Национальный центр исследования архитектур суперкомпьютеров. Этап 2023–2025». |
Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Appears in Collections: | 2024. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
478-482.pdf | 385,95 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.