Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/323265| Title: | Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов железа при лазерном распылении железа в атмосфере воздуха |
| Other Titles: | Research of the processes of spraying gas-sensitive nanofilm resistors from iron oxides during laser spraying of iron in the air atmosphere |
| Authors: | Ермалицкая, К. Ф. Воропай, Е. С. Красноперов, Н. Н. Зажогин, А. П. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2024 |
| Citation: | Материалы ХIV международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике». Нальчик. Россия. 3-7 июня 2024 г. – С.209-213. |
| Abstract: | Изучены возможности получения газочувствительных нанопленоч- ных резисторов из оксидов железа с достаточно хорошими механическими и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными ла- зерными импульсами мишени из стали 08кп на подложку из фольгирован- ного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены исследования влияния количества импульсов и угла воздействия излучения на мишень на процессы при целенаправленном формирование компонентного и зарядового состава лазерного факела направляемого на подложку и качество пленки. |
| Abstract (in another language): | The possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm resistors from iron oxides with fairly good mechanical and sensitive characteristics have been stud- ied using the method of ablation of dual laser pulses of a target from steel 3 onto a foil-coated fiberglass substrate in an air atmosphere. Studies have been car- ried out of the influence of the number of pulses and the angle of radiation expo- sure on the target on the processes during the targeted formation of the compo- nent and charge composition of the laser torch directed at the substrate and the quality of the film. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/323265 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Appears in Collections: | Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pages from book2024_209-213.pdf | 645,01 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.