Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/323248| Заглавие документа: | Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди и цинка при лазерном напылении латуни ЛС59 в атмосфере воздуха |
| Другое заглавие: | Study of the deposition processes of gas-sensitive nanofilm resistors made of copper and zinc oxides during laser deposition of ls59 brass in an air atmosphere |
| Авторы: | Воропай, Е. С. Коваленко, М. Н. Алексеенко, Н. А. Зажогин, А. П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2024 |
| Библиографическое описание источника: | Микро- и нанотехнологии в электронике. Материалы XIV Международной научно-технической конференции — Нальчик: Каб.-Балк. ун-т., 2024. − С.199-203 |
| Аннотация: | Изучены возможности получения газочувствительных нанопленоч- ных резисторов из смешанных оксидов меди и цинка, с достаточно хоро- шими механическими и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами мишени из латуни марки ЛС59 на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены исследования влияния количества импульсов и угла воз- действия излучения на мишень на процессы при целенаправленном форми- рование компонентного и зарядового состава лазерного факела направля- емого на подложку и качество пленки. |
| Аннотация (на другом языке): | The possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm resistors from mixed oxides of copper and zinc, with fairly good mechanical and sensitive character- istics, were studied by ablation with dual laser pulses of a target made of LS59 brass onto a foil-clad fiberglass substrate in an air atmosphere. Studies have been carried out of the influence of the number of pulses and the angle of expo- sure of the radiation on the target on the processes during the targeted forma- tion of the component and charge composition of the laser torch directed at the substrate and the quality of the film. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/323248 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Pages from book2024_199-203.pdf | 577,36 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.