Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/323248
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Воропай, Е. С. | - |
dc.contributor.author | Коваленко, М. Н. | - |
dc.contributor.author | Алексеенко, Н. А. | - |
dc.contributor.author | Зажогин, А. П. | - |
dc.date.accessioned | 2024-12-18T13:07:20Z | - |
dc.date.available | 2024-12-18T13:07:20Z | - |
dc.date.issued | 2024 | - |
dc.identifier.citation | Микро- и нанотехнологии в электронике. Материалы XIV Международной научно-технической конференции — Нальчик: Каб.-Балк. ун-т., 2024. − С.199-203 | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/323248 | - |
dc.description.abstract | Изучены возможности получения газочувствительных нанопленоч- ных резисторов из смешанных оксидов меди и цинка, с достаточно хоро- шими механическими и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами мишени из латуни марки ЛС59 на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены исследования влияния количества импульсов и угла воз- действия излучения на мишень на процессы при целенаправленном форми- рование компонентного и зарядового состава лазерного факела направля- емого на подложку и качество пленки. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди и цинка при лазерном напылении латуни ЛС59 в атмосфере воздуха | ru |
dc.title.alternative | Study of the deposition processes of gas-sensitive nanofilm resistors made of copper and zinc oxides during laser deposition of ls59 brass in an air atmosphere | ru |
dc.type | conference paper | ru |
dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
dc.description.alternative | The possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm resistors from mixed oxides of copper and zinc, with fairly good mechanical and sensitive character- istics, were studied by ablation with dual laser pulses of a target made of LS59 brass onto a foil-clad fiberglass substrate in an air atmosphere. Studies have been carried out of the influence of the number of pulses and the angle of expo- sure of the radiation on the target on the processes during the targeted forma- tion of the component and charge composition of the laser torch directed at the substrate and the quality of the film. | ru |
Располагается в коллекциях: | Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи) |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Pages from book2024_199-203.pdf | 577,36 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.