Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/323248
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorВоропай, Е. С.-
dc.contributor.authorКоваленко, М. Н.-
dc.contributor.authorАлексеенко, Н. А.-
dc.contributor.authorЗажогин, А. П.-
dc.date.accessioned2024-12-18T13:07:20Z-
dc.date.available2024-12-18T13:07:20Z-
dc.date.issued2024-
dc.identifier.citationМикро- и нанотехнологии в электронике. Материалы XIV Международной научно-технической конференции — Нальчик: Каб.-Балк. ун-т., 2024. − С.199-203ru
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/323248-
dc.description.abstractИзучены возможности получения газочувствительных нанопленоч- ных резисторов из смешанных оксидов меди и цинка, с достаточно хоро- шими механическими и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами мишени из латуни марки ЛС59 на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены исследования влияния количества импульсов и угла воз- действия излучения на мишень на процессы при целенаправленном форми- рование компонентного и зарядового состава лазерного факела направля- емого на подложку и качество пленки.ru
dc.language.isoruru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/restrictedAccessru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleИсследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди и цинка при лазерном напылении латуни ЛС59 в атмосфере воздухаru
dc.title.alternativeStudy of the deposition processes of gas-sensitive nanofilm resistors made of copper and zinc oxides during laser deposition of ls59 brass in an air atmosphereru
dc.typeconference paperru
dc.rights.licenseCC BY 4.0ru
dc.description.alternativeThe possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm resistors from mixed oxides of copper and zinc, with fairly good mechanical and sensitive character- istics, were studied by ablation with dual laser pulses of a target made of LS59 brass onto a foil-clad fiberglass substrate in an air atmosphere. Studies have been carried out of the influence of the number of pulses and the angle of expo- sure of the radiation on the target on the processes during the targeted forma- tion of the component and charge composition of the laser torch directed at the substrate and the quality of the film.ru
Располагается в коллекциях:Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Pages from book2024_199-203.pdf577,36 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.