Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/323246| Заглавие документа: | Исследование влияния угла абляции на процессы напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди, легированных железом, при лазерном распылении меди и железа в атмосфере воздуха |
| Другое заглавие: | Study of the influence of the ablation angle on the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with iron during laser sputtering of copper and iron in an air atmosphere |
| Авторы: | Воропай, Е. С. Алексеенко, Н. А. Коваленко, М. Н. Маркова, Л. В. Зажогин, А. П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2024 |
| Библиографическое описание источника: | Микро- и нанотехнологии в электронике. Материалы XIV Международной научно-технической конференции — Нальчик: Каб.-Балк. ун-т., 2024. − С.204-208. |
| Аннотация: | Изучены возможности получения газочувствительных нанопленоч- ных резисторов из оксидов меди легированных оксидами железа, с доста- точно хорошими механическими и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами гибридной мишени состоящей из склеенных между собой пластинок из меди М2 и стали 08кп на подложку из стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены ис- следования влияния угла падения и количества импульсов на процессы при целенаправленном формирование компонентного и зарядового состава ла- зерного факела направляемого на подложку. Резистор напылен на дорож- ку шириной 300 мкм изготовленной в медной фольге на мишени из фольги- рованного стеклотекстолите. Оценены параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду и уксусную кислоту. |
| Аннотация (на другом языке): | The possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with iron oxides, with fairly good mechanical and sensitive char- acteristics, have been studied using the method of ablation with dual laser pulses of a hybrid target consisting of plates of M2 copper and 08 steel glued together on a fiberglass substrate in the atmosphere. air. Studies have been car- ried out to study the influence of the angle of incidence and the number of pulses on the processes during the targeted formation of the component and charge composition of a laser torch directed onto the substrate. The resistor is depos- ited onto a 300-micron-wide track made of copper foil on a target made of foil- coated fiberglass. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/323246 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Pages from book2024_204-208.pdf | 807,51 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.