Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/323246
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorВоропай, Е. С.-
dc.contributor.authorАлексеенко, Н. А.-
dc.contributor.authorКоваленко, М. Н.-
dc.contributor.authorМаркова, Л. В.-
dc.contributor.authorЗажогин, А. П.-
dc.date.accessioned2024-12-18T13:00:48Z-
dc.date.available2024-12-18T13:00:48Z-
dc.date.issued2024-
dc.identifier.citationМикро- и нанотехнологии в электронике. Материалы XIV Международной научно-технической конференции — Нальчик: Каб.-Балк. ун-т., 2024. − С.204-208.ru
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/323246-
dc.description.abstractИзучены возможности получения газочувствительных нанопленоч- ных резисторов из оксидов меди легированных оксидами железа, с доста- точно хорошими механическими и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами гибридной мишени состоящей из склеенных между собой пластинок из меди М2 и стали 08кп на подложку из стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены ис- следования влияния угла падения и количества импульсов на процессы при целенаправленном формирование компонентного и зарядового состава ла- зерного факела направляемого на подложку. Резистор напылен на дорож- ку шириной 300 мкм изготовленной в медной фольге на мишени из фольги- рованного стеклотекстолите. Оценены параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду и уксусную кислоту.ru
dc.language.isoruru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/restrictedAccessru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleИсследование влияния угла абляции на процессы напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди, легированных железом, при лазерном распылении меди и железа в атмосфере воздухаru
dc.title.alternativeStudy of the influence of the ablation angle on the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with iron during laser sputtering of copper and iron in an air atmosphereru
dc.typeconference paperru
dc.rights.licenseCC BY 4.0ru
dc.description.alternativeThe possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with iron oxides, with fairly good mechanical and sensitive char- acteristics, have been studied using the method of ablation with dual laser pulses of a hybrid target consisting of plates of M2 copper and 08 steel glued together on a fiberglass substrate in the atmosphere. air. Studies have been car- ried out to study the influence of the angle of incidence and the number of pulses on the processes during the targeted formation of the component and charge composition of a laser torch directed onto the substrate. The resistor is depos- ited onto a 300-micron-wide track made of copper foil on a target made of foil- coated fiberglass. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed.ru
Располагается в коллекциях:Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Pages from book2024_204-208.pdf807,51 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.