Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/306960| Title: | Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди легированных цинком при лазерном напылении меди и цинка в атмосфере воздуха. |
| Other Titles: | Study of the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with zinc during laser deposition of copper and zinc in an air |
| Authors: | Воропай, Е. С. Коваленко, М. Н. Алексеенко, Н. А. Зажогин, А. П. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | May-2023 |
| Citation: | Материалы XIII Международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике». (29 мая − 3 июня 2023 г.) Сборник докладов— Нальчик: Каб.-Балк. ун-т., 2023. с. 223- 227 |
| Abstract: | Изучены возможности получения газочувствительных нанопленоч- ных резисторов из оксидов меди, легированных цинком, с достаточно хо- рошими механическими и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами гибридной мишени из состоя- щей из последовательно склеенных пластинок из меди и цинка на подлож- ку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведе- ны исследования влияния количества импульсов и угла воздействия излуче- ния на мишень на процессы при целенаправленном формирование компо- нентного и зарядового состава лазерного факела направляемого на под- ложку и качество пленки. |
| Abstract (in another language): | The possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm resistors from zinc- doped copper oxides with sufficiently good mechanical and sensitive characteris- tics by the method of ablation of a hybrid target consisting of sequentially glued copper and zinc plates on a substrate of foiled fiberglass in an air atmosphere by double laser pulses have been studied. Studies of the influence of the number of pulses and the angle of radiation exposure on the target on the processes with the purposeful formation of the component and charge composition of the laser torch directed at the substrate and the quality of the film have been carried out. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/306960 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Appears in Collections: | Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Конф. Нальчик.Воропай.223-227-2023.pdf | 562,09 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.