Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/306779| Title: | Тонкопленочные химические сенсоры и микросистемы: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 05 03 Химия высоких энергий. № УД-12219/уч. |
| Authors: | Савицкий, Александр Александрови |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
| Issue Date: | 30-Jun-2023 |
| Abstract: | Цель данной учебной дисциплины– расширить и углубить знания студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/306779 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | Тонкопленочные химические сенсоры и микросистемы |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Спекурс_сенсоры.pdf | 783,61 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.