Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/306779
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorСавицкий, Александр Александрови-
dc.date.accessioned2023-12-15T11:48:34Z-
dc.date.available2023-12-15T11:48:34Z-
dc.date.issued2023-06-30-
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/306779-
dc.description.abstractЦель данной учебной дисциплины– расширить и углубить знания студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности.ru
dc.language.isoruru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химияru
dc.titleТонкопленочные химические сенсоры и микросистемы: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 05 03 Химия высоких энергий. № УД-12219/уч.ru
dc.typesyllabusru
dc.rights.licenseCC BY 4.0ru
Располагается в коллекциях:Тонкопленочные химические сенсоры и микросистемы

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Спекурс_сенсоры.pdf783,61 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.