Исследование влияния угла абляции на процессы напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди, легированных цинком, при лазерном распылении меди и цинка в атмосфере воздуха

Воропай, Е. С.; Коваленко, М. Н.; Алексеенко, Н. А.; Зажогин, А. П.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/305479

Title:	Исследование влияния угла абляции на процессы напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди, легированных цинком, при лазерном распылении меди и цинка в атмосфере воздуха
Other Titles:	Study of the influence of the ablation angle on the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with zinc during laser sputtering of copper and zinc in an air atmosphere / E. S. Voropay, M. N. Kovalenko, N. A. Alekseenko, А. P. Zajogin
Authors:	Воропай, Е. С. Коваленко, М. Н. Алексеенко, Н. А. Зажогин, А. П.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2023
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Квантовая электроника : материалы XIV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 21-23 нояб. 2023 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: М. М. Кугейко (гл. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2023. – С. 413-417.
Abstract:	Проведены исследования влияния количества импульсов и угла воздействия излучения на мишень на процессы напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди, легированных цинком, при абляции сдвоенными лазерными импульсами гибридной мишени, из состоящей из последовательно склеенных пластинок из меди и цинка, на подложку из фольгированного медью стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Оценены параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту
Abstract (in another language):	Studies have been carried out of the influence of the number of pulses and the angle of radiation exposure on the target on the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with zinc during ablation with dual laser pulses of a hybrid target consisting of sequentially glued copper and zinc plates on a substrate made of copper-foiled fiberglass in an air atmosphere. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/305479
ISBN:	978-985-881-530-1
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:	2023. Квантовая электроника

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
413-417.pdf		1,7 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar