Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/305479| Заглавие документа: | Исследование влияния угла абляции на процессы напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди, легированных цинком, при лазерном распылении меди и цинка в атмосфере воздуха |
| Другое заглавие: | Study of the influence of the ablation angle on the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with zinc during laser sputtering of copper and zinc in an air atmosphere / E. S. Voropay, M. N. Kovalenko, N. A. Alekseenko, А. P. Zajogin |
| Авторы: | Воропай, Е. С. Коваленко, М. Н. Алексеенко, Н. А. Зажогин, А. П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Квантовая электроника : материалы XIV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 21-23 нояб. 2023 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: М. М. Кугейко (гл. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2023. – С. 413-417. |
| Аннотация: | Проведены исследования влияния количества импульсов и угла воздействия излучения на мишень на процессы напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди, легированных цинком, при абляции сдвоенными лазерными импульсами гибридной мишени, из состоящей из последовательно склеенных пластинок из меди и цинка, на подложку из фольгированного медью стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Оценены параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту |
| Аннотация (на другом языке): | Studies have been carried out of the influence of the number of pulses and the angle of radiation exposure on the target on the processes of deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with zinc during ablation with dual laser pulses of a hybrid target consisting of sequentially glued copper and zinc plates on a substrate made of copper-foiled fiberglass in an air atmosphere. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/305479 |
| ISBN: | 978-985-881-530-1 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2023. Квантовая электроника |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 413-417.pdf | 1,7 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.