Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/305476| Title: | Влияние наносекундной импульсной лазерной обработки на электрофизические характеристики слоев Ti и Ni на стекле |
| Other Titles: | Influence of nanosecond pulsed laser processing on the electrophysical characteristics of Ti and Ni layers on glass / M. V. Labanok, S. S. Grinko, A. A. Grinkevich, O. R. Lyudchik |
| Authors: | Лобанок, М. В. Гринько, С. С. Гринкевич, А. А. Людчик, О. Р. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Квантовая электроника : материалы XIV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 21-23 нояб. 2023 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: М. М. Кугейко (гл. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2023. – С. 399-402. |
| Abstract: | Представлены результаты измерения слоевого сопротивления и морфологии слоев Ti и Ni (500 нм), сформированных на стеклянных подложках методом магнетронного распыления и облученных наносекундными (~ 60 нс) импульсами Nd:YAG лазера с плотностью энергии W = 0.64−1.3 Дж/см2. Показано, что увеличение плотности энергии лазерного облучения приводит к изменению слоевого сопротивления и оптических характеристик слоев Ti и Ni |
| Abstract (in another language): | The results of measuring the layer resistance and morphology of Ti and Ni layers (500 nm) formed on glass substrates by magnetron sputtering and irradiated with nanosecond (~ 60 ns) Nd:YAG laser pulses with an energy density W = 0.64−1.3 J/cm2 are presented. It has been shown that an increase in the energy density of laser irradiation leads to a change in the layer resistance and optical characteristics of the Ti and Ni layers |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/305476 |
| ISBN: | 978-985-881-530-1 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2023. Квантовая электроника |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 399-402.pdf | 1,63 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.