Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных медью, при лазерном распылении цинка и меди в атмосфере воздуха

Воропай, Е. С.; Коваленко, М. Н.; Алексеенко, Н. А.; Зажогин, А. П.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/305475

Title:	Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных медью, при лазерном распылении цинка и меди в атмосфере воздуха
Other Titles:	Study of the processes of deposition of gas-sensitive nano-film resistors from zinc oxides doped with copper during laser sputtering of zinc and copper in an air atmosphere / E. S. Voropay, M. N. Kovalenko, N. A. Alekseenko, А. P. Zajogin
Authors:	Воропай, Е. С. Коваленко, М. Н. Алексеенко, Н. А. Зажогин, А. П.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2023
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Квантовая электроника : материалы XIV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 21-23 нояб. 2023 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: М. М. Кугейко (гл. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2023. – С. 394-398.
Abstract:	Изучены возможности получения газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных оксидами меди, методом абляции сериями сдвоенных лазерных импульсов гибридной мишени состоящей из склеенных между собой пластинок цинка Ц0 и меди М2 на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Резистор напылен на дорожку шириной 300 мкм, вытравленную в медной фольге. Оценены параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту
Abstract (in another language):	The possibilities of producing gas-sensitive nanofilm resistors from zinc oxides doped with copper oxides by ablation with a series of double laser pulses of a hybrid target consisting of zinc C0 and copper M2 plates glued together on a foil-clad fiberglass substrate in an air atmosphere have been studied. The resistor is deposited onto a 300 micron wide track etched in copper foil. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/305475
ISBN:	978-985-881-530-1
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:	2023. Квантовая электроника

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
394-398.pdf		1,58 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar