Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/305475| Заглавие документа: | Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных медью, при лазерном распылении цинка и меди в атмосфере воздуха |
| Другое заглавие: | Study of the processes of deposition of gas-sensitive nano-film resistors from zinc oxides doped with copper during laser sputtering of zinc and copper in an air atmosphere / E. S. Voropay, M. N. Kovalenko, N. A. Alekseenko, А. P. Zajogin |
| Авторы: | Воропай, Е. С. Коваленко, М. Н. Алексеенко, Н. А. Зажогин, А. П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Квантовая электроника : материалы XIV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 21-23 нояб. 2023 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: М. М. Кугейко (гл. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2023. – С. 394-398. |
| Аннотация: | Изучены возможности получения газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных оксидами меди, методом абляции сериями сдвоенных лазерных импульсов гибридной мишени состоящей из склеенных между собой пластинок цинка Ц0 и меди М2 на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Резистор напылен на дорожку шириной 300 мкм, вытравленную в медной фольге. Оценены параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту |
| Аннотация (на другом языке): | The possibilities of producing gas-sensitive nanofilm resistors from zinc oxides doped with copper oxides by ablation with a series of double laser pulses of a hybrid target consisting of zinc C0 and copper M2 plates glued together on a foil-clad fiberglass substrate in an air atmosphere have been studied. The resistor is deposited onto a 300 micron wide track etched in copper foil. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/305475 |
| ISBN: | 978-985-881-530-1 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2023. Квантовая электроника |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 394-398.pdf | 1,58 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.