Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/305355| Title: | Электрофизические характеристики структур TiAlСN/TiAlN, модифицированных наносекундной импульсной лазерной обработкой |
| Other Titles: | Electrophysical characteristics of TiAlСN/TiAlN structures modified by nanosecond pulse laser processing / O. S. Sirenko, S. A. Ignatovich, I. D. Shcherbich, M. V. Labanok, O. R. Lyudchik |
| Authors: | Сиренко, О. С. Игнатович, С. А. Щербич, И. Д. Лобанок, М. В. Людчик, О. Р. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Квантовая электроника : материалы XIV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 21-23 нояб. 2023 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: М. М. Кугейко (гл. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2023. – С. 453-456. |
| Abstract: | Представлены результаты измерения слоевого сопротивления структур TiAlСN/TiAlN (600 и 20 нм), сформированные на стеклянных подложках методом магнетронного распыления и облученных наносекундными (~60 нс) импульсами Nd:YAG лазера с плотностью энергии W = 0.24−1.2 Дж/см2. Показано, что увеличение плотности энергии лазерного облучения приводит к изменению слоевого сопротивления и оптических характеристик структур TiAlСN/TiAlN |
| Abstract (in another language): | The results of measuring the layer resistance of TiAlСN/TiAlN structures (600 and 20 nm), formed on glass substrates by magnetron sputtering and irradiated with nanosecond (~ 60 ns) Nd:YAG laser pulses with an energy density W = 0.24−1.2 J/cm2, are presented. It has been shown that an increase in the energy density of laser irradiation leads to a change in the layer resistance and optical characteristics of TiAlСN/TiAlN structures |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/305355 |
| ISBN: | 978-985-881-530-1 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2023. Квантовая электроника |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 453-456.pdf | 1,59 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.