Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304354| Заглавие документа: | Воздействие кислородной плазмы и УФ-излучения на оптические свойства пленок оксида индий-олово на стекле |
| Другое заглавие: | Oxygen plasma and UV-radiation effect on optical properties of indium tin oxide films on glass / Irina Parkhomenko, Liudmila Vlasukova, Alexander Kamyshan, Ivan Parfimovich, Vladimir Chernik |
| Авторы: | Пархоменко, И. Н. Власукова, Л. А. Камышан, А. С. Парфимович, И. Д. Черник, В. Н. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 291-293. |
| Аннотация: | Исследована стойкость пленок оксида индия-олова (ITO) толщиной 25 нм, нанесенных на стекло, к воздействию факторов космического пространства на низких околоземных орбитах. Изучено изменение спектрального коэффициента пропускания оптического стекла с тонким покрытием ITO при воздействии УФ-части солнечного спектра в диапазоне (185-400 нм) и потока кислородной плазмы. Воздействие УФ-излучения приводит к уменьшению пропускания в ИК-области на ~3 %, после экспозиции в кислородной плазме наблюдается деградация пленки ITO и появление дефектов на поверхности стекла. При флюенсе атомарного кислорода 5×10 20 см-2 толщина пленки ITO уменьшается, тогда как при флюенсе 20×10 20 см-2 пленка ITO полностью стравливается, что сопровождается увеличение пропускания в области (2-5) мкм |
| Аннотация (на другом языке): | The resistance of the 25 nm-thickness indium-tin oxide (ITO) films deposited on glass to environmental factors in low earth orbits has been investigated. To estimate a stability of optical properties we studied the change in the spectral transmittance of the samples under exposure of an UV part of solar spectrum in the range of (180-400 nm), and an oxygen plasma flow. It is shown that UV radiation results in a decrease in transmission in the IR range by ~3%. An oxygen plasma treatment leads to a significant degradation of the ITO film and an appearance of defects on the glass surface. In the case of an atomic oxygen fluence of 5×10 20 cm-2 , the ITO film thickness decreases, while at a fluence of 20×10 20 cm-2 , the ITO film is completely etched off, which is accompanied by an increase in transmission in the (2-5) µm range |
| Доп. сведения: | Секция 3. Влияние излучений на структуру и свойства материалов = Section 3. Radiation influence on the structure and properties of materials |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304354 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 291-293.pdf | 341,21 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.