Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/304354
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorПархоменко, И. Н.
dc.contributor.authorВласукова, Л. А.
dc.contributor.authorКамышан, А. С.
dc.contributor.authorПарфимович, И. Д.
dc.contributor.authorЧерник, В. Н.
dc.date.accessioned2023-11-03T13:27:59Z-
dc.date.available2023-11-03T13:27:59Z-
dc.date.issued2023
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 291-293.
dc.identifier.issn2663-9939 (Print)
dc.identifier.issn2706-9060 (Online)
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/304354-
dc.descriptionСекция 3. Влияние излучений на структуру и свойства материалов = Section 3. Radiation influence on the structure and properties of materials
dc.description.abstractИсследована стойкость пленок оксида индия-олова (ITO) толщиной 25 нм, нанесенных на стекло, к воздействию факторов космического пространства на низких околоземных орбитах. Изучено изменение спектрального коэффициента пропускания оптического стекла с тонким покрытием ITO при воздействии УФ-части солнечного спектра в диапазоне (185-400 нм) и потока кислородной плазмы. Воздействие УФ-излучения приводит к уменьшению пропускания в ИК-области на ~3 %, после экспозиции в кислородной плазме наблюдается деградация пленки ITO и появление дефектов на поверхности стекла. При флюенсе атомарного кислорода 5×10 20 см-2 толщина пленки ITO уменьшается, тогда как при флюенсе 20×10 20 см-2 пленка ITO полностью стравливается, что сопровождается увеличение пропускания в области (2-5) мкм
dc.language.isoru
dc.publisherМинск : БГУ
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleВоздействие кислородной плазмы и УФ-излучения на оптические свойства пленок оксида индий-олово на стекле
dc.title.alternativeOxygen plasma and UV-radiation effect on optical properties of indium tin oxide films on glass / Irina Parkhomenko, Liudmila Vlasukova, Alexander Kamyshan, Ivan Parfimovich, Vladimir Chernik
dc.typeconference paper
dc.description.alternativeThe resistance of the 25 nm-thickness indium-tin oxide (ITO) films deposited on glass to environmental factors in low earth orbits has been investigated. To estimate a stability of optical properties we studied the change in the spectral transmittance of the samples under exposure of an UV part of solar spectrum in the range of (180-400 nm), and an oxygen plasma flow. It is shown that UV radiation results in a decrease in transmission in the IR range by ~3%. An oxygen plasma treatment leads to a significant degradation of the ITO film and an appearance of defects on the glass surface. In the case of an atomic oxygen fluence of 5×10 20 cm-2 , the ITO film thickness decreases, while at a fluence of 20×10 20 cm-2 , the ITO film is completely etched off, which is accompanied by an increase in transmission in the (2-5) µm range
Располагается в коллекциях:2023. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
291-293.pdf341,21 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.