Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304309
Title: | Микроструктура поверхности наноструктурированных покрытий ZrN/Si3N4, облученных ионами гелия |
Other Titles: | Surface microstructure of nanostructured ZrN/Si3N4 coatings irradiated with helium ions / S.V. Zlotski, I.D. Prikhodko, I.S. Mikityuk |
Authors: | Злоцкий, С. В. Приходько, И. Д. Микитюк, И. С. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2023 |
Publisher: | Минск : БГУ |
Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 161-163. |
Abstract: | Исследована микроструктура поверхности многослойных пленок ZrN/Si3N4, облученных ионами гелия. Выявлено формирование блистеров и установлена зависимость степени радиационной эрозии многослойных пленок от соотношения толщин кристаллического и аморфного слоев (fZrN). Выявлены критические флюенсы блистерообразования в многослойных пленках (возрастает при уменьшении fZrN) и установлено минимальное значение при fZrN ~ 0.29 |
Abstract (in another language): | The microstructure of the surface of ZrN/Si3N4 multilayer films irradiated with helium ions has been studied. The formation of blisters was revealed and the dependence of the degree of radiation erosion of multilayer films on the ratio of the thicknesses of the crystalline and amorphous layers (fZrN) was established. The critical fluences of blister formation in multilayer films are revealed; it increases with decreasing f ZrN and the minimum value is established at f ZrN ~ 0.29 |
Description: | Секция 2. Радиационные эффекты в твердом теле = Section 2. Radiation effects in solids |
URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304309 |
ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Appears in Collections: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
161-163.pdf | 309,99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.