Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/304268
Заглавие документа: Плазменные покрытия из пироуглерода, легированного бором: синтез и структурные свойства
Другое заглавие: Plasma coatings of pyrocarbon doped with boron: synthesis and structural properties / S. Maksimenko, D. Adamchuk, M.I. Demidenko, A.G. Poddubskaya, V.K. Ksenevich
Авторы: Максименко, С. А.
Адамчук, Д. В.
Демиденко, М. И.
Поддубская, О. Г.
Ксеневич, В. К.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2023
Издатель: Минск : БГУ
Библиографическое описание источника: Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 530-532.
Аннотация: В работе приведены результаты синтеза углеродных покрытий методом магнетронного плазменного распыления мелкофракционного пиролитического углерода, легированного бором. Покрытие повторяет структуру и состав исходного распыляемого материала, который характеризуется высокими значениями механической твердости и упругости, стабильностью этих параметров в широком интервале температур, а также химической и биологической инертностью. Распыление проводилось на установке ВУП-5М с использованием модернизированного магнетрона увеличенного диаметра в высокочастотной плазме аргона в режиме DC при напряжении 500-550В, ток 250 мА. Мощность распыления устанавливалась с учетом возможности косвенного охлаждения верхнего слоя мелкофракционного борированного пиролитического углерода, расположенного в зоне эрозии. Методом спектроскопии комбинационного рассеяния показано, что синтезированные покрытия обладают структурой пироуглерода, характеризуются высоким пробивным напряжением, концентрация бора при напылении незначительно уменьшается. В дальнейшем будут проведены работы по исследованию механических свойств синтезированных покрытий
Аннотация (на другом языке): The paper presents the results of the synthesis of carbon coatings by the method of magnetron plasma sputtering of fine-fraction pyrolytic carbon doped with boron. The boron-doped pyrolytic carbon is formed by pyrolysis of a hydrocarbon gas with BCI3 creating random crystallization in reactor that heating temperature to 1480° -1570°C. An intro-duced hydrocarbon gas undergoes decomposition at these temperatures creating free carbon that recrystallizes on the surface it comes in contact. The coating repeats the structure and composition of the original sprayed material, which is characterized by high mechanical hardness and elasticity, the stability of these parameters over a wide temperature range, as well as chemical and biological inertness. Sputtering was carried out on a VUP-5M installation using a modernized magnetron of increased diameter in high-frequency argon plasma in the DC mode at a voltage of 500–550 V, a current of 250 mA. The spraying power was set taking into account the possibility of indirect cooling of the upper layer of fine-fraction borated pyrolytic carbon located in the erosion zone. Raman spectroscopy has shown that the synthesized coatings have a pyrocarbon structure, are characterized by a high breakdown voltage, and the boron concentration slightly decreases during deposition. In the future, work will be carried out to study the mechanical properties of the synthesized coatings
Доп. сведения: Секция 5. Методы, оборудование, плазменные и радиационные технологии = Section 5. Methods, equipment, plasma and radiation technologies
URI документа: https://elib.bsu.by/handle/123456789/304268
ISSN: 2663-9939 (Print)
2706-9060 (Online)
Лицензия: info:eu-repo/semantics/openAccess
Располагается в коллекциях:2023. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
530-532.pdf424,62 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.