Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304266| Title: | Способ нанесения тонких металлических покрытий при обработке интенсивными потоками энергии |
| Other Titles: | Method for depositing thin metal coatings during treatment with intense energy flows / Artem Leivi, Ekaterina Fomina, Eugene Yakovlev |
| Authors: | Лейви, А. Я. Фомина, Е. Ф. Яковлев, Е. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 524-526. |
| Abstract: | В данной работе предложен способ нанесения тонких металлических покрытий, который включает в себя предварительную обработку подложки компрессионными плазменными потоками (КПП) с последующим циклическим процессом нанесения пленки методом магнетронного напыления, толщиной 100-250 нм, и обработкой системы пленка-подложка низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками (НСЭП). Предложенный способ позволяет уменьшить конечную шероховатость поверхности пленки и обеспечивает хорошую адгезию материала пленки с материалом подложки |
| Abstract (in another language): | In this paper, we propose a method for applying thin metal coatings, which includes pre-treatment of the substrate with compression plasma flows, followed by a cyclic process of film deposition, by magnetron sputtering, with a thickness of 100–250 nm, and treatment of the film-substrate system with low-energy high-current electron beams. The proposed method makes it possible to reduce the final roughness of the film surface (Pa=0.6 μm) and shows good adhesion of the film material to the substrate material |
| Description: | Секция 5. Методы, оборудование, плазменные и радиационные технологии = Section 5. Methods, equipment, plasma and radiation technologies |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304266 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 524-526.pdf | 499,25 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.