Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304266Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Лейви, А. Я. | |
| dc.contributor.author | Фомина, Е. Ф. | |
| dc.contributor.author | Яковлев, Е. В. | |
| dc.date.accessioned | 2023-11-03T13:27:44Z | - |
| dc.date.available | 2023-11-03T13:27:44Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 524-526. | |
| dc.identifier.issn | 2663-9939 (Print) | |
| dc.identifier.issn | 2706-9060 (Online) | |
| dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304266 | - |
| dc.description | Секция 5. Методы, оборудование, плазменные и радиационные технологии = Section 5. Methods, equipment, plasma and radiation technologies | |
| dc.description.abstract | В данной работе предложен способ нанесения тонких металлических покрытий, который включает в себя предварительную обработку подложки компрессионными плазменными потоками (КПП) с последующим циклическим процессом нанесения пленки методом магнетронного напыления, толщиной 100-250 нм, и обработкой системы пленка-подложка низкоэнергетическими сильноточными электронными пучками (НСЭП). Предложенный способ позволяет уменьшить конечную шероховатость поверхности пленки и обеспечивает хорошую адгезию материала пленки с материалом подложки | |
| dc.language.iso | ru | |
| dc.publisher | Минск : БГУ | |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | |
| dc.title | Способ нанесения тонких металлических покрытий при обработке интенсивными потоками энергии | |
| dc.title.alternative | Method for depositing thin metal coatings during treatment with intense energy flows / Artem Leivi, Ekaterina Fomina, Eugene Yakovlev | |
| dc.type | conference paper | |
| dc.description.alternative | In this paper, we propose a method for applying thin metal coatings, which includes pre-treatment of the substrate with compression plasma flows, followed by a cyclic process of film deposition, by magnetron sputtering, with a thickness of 100–250 nm, and treatment of the film-substrate system with low-energy high-current electron beams. The proposed method makes it possible to reduce the final roughness of the film surface (Pa=0.6 μm) and shows good adhesion of the film material to the substrate material | |
| Располагается в коллекциях: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 524-526.pdf | 499,25 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.