Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304264| Title: | Технология формирования острия зондов для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии методом фокусированных ионных пучков |
| Other Titles: | Focused ion beam as a technology of scanning near-field optical microscopy probe tip formation / Alexey Kolomiytsev, Alena Kotosonova |
| Authors: | Коломийцев, А. С. Котосонова, А. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 518-520. |
| Abstract: | В работе описано применение технологии локального травления и ионно-симулированного осаждения методом фокусированных ионных пучков для изготовления острия апертурных зондов для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии. Представлены результаты экспериментальных исследований режимов ионно-стимулированного осаждения углерода для достижения высокой точности и управляемости процесса. Показана возможность изготовления зондов с диаметром выходной апертуры от 50 до 600 нм, высотой от 500 нм до 30 мкм и углом при вершине от 10° до 110° |
| Abstract (in another language): | This paper describes the application of local milling and ion-induced deposition by focused ion beams to manufacture aperture probes for scanning near-field optical microscopy. The results of experimental studies of modes of ion-stimulated carbon deposition for achieving high accuracy and controllability of the process are presented. Possibility to manufacture probes with output aperture diameters from 50 to 600 nm, heights from 500 nm to 30 μm and apex angles from 10° to 110° is shown |
| Description: | Секция 5. Методы, оборудование, плазменные и радиационные технологии = Section 5. Methods, equipment, plasma and radiation technologies |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304264 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Sponsorship: | Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 22‑29‑01239 в Южном федеральном университете. |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 518-520.pdf | 280,51 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.