Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304264| Заглавие документа: | Технология формирования острия зондов для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии методом фокусированных ионных пучков |
| Другое заглавие: | Focused ion beam as a technology of scanning near-field optical microscopy probe tip formation / Alexey Kolomiytsev, Alena Kotosonova |
| Авторы: | Коломийцев, А. С. Котосонова, А. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 518-520. |
| Аннотация: | В работе описано применение технологии локального травления и ионно-симулированного осаждения методом фокусированных ионных пучков для изготовления острия апертурных зондов для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии. Представлены результаты экспериментальных исследований режимов ионно-стимулированного осаждения углерода для достижения высокой точности и управляемости процесса. Показана возможность изготовления зондов с диаметром выходной апертуры от 50 до 600 нм, высотой от 500 нм до 30 мкм и углом при вершине от 10° до 110° |
| Аннотация (на другом языке): | This paper describes the application of local milling and ion-induced deposition by focused ion beams to manufacture aperture probes for scanning near-field optical microscopy. The results of experimental studies of modes of ion-stimulated carbon deposition for achieving high accuracy and controllability of the process are presented. Possibility to manufacture probes with output aperture diameters from 50 to 600 nm, heights from 500 nm to 30 μm and apex angles from 10° to 110° is shown |
| Доп. сведения: | Секция 5. Методы, оборудование, плазменные и радиационные технологии = Section 5. Methods, equipment, plasma and radiation technologies |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304264 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Финансовая поддержка: | Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 22‑29‑01239 в Южном федеральном университете. |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 518-520.pdf | 280,51 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.