Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304244| Заглавие документа: | Получение ультратонких контактов на поверхности полупроводников |
| Другое заглавие: | Obtaining ultrathin contacts on the surface of semiconductors / Dilnoza Tashmukhamedova, Akbar Abduvayitov, Mahsuna Yusupjanova, Khurshid Boltaev, Baltohodja Umirzakov |
| Авторы: | Ташмухамедова, Д. А. Абдуваитов, А. А. Юсупжанова, М. Б. Болтаев, Х. Х. Умирзаков, Б. Е. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 452-454. |
| Аннотация: | Впервые с использованием метода низкоэнергетической ионной бомбардировки на поверхности CdS получены ультратонкие омические контакты. Изучены профили распределения атомов контактирующего металла (никеля) по глубине чистого CdS и CdS, бомбардированного ионами Ba+ и Ar+. Показано, что ионная бомбардировка приводит к уменьшению при контактного (переходного) слоя в два и более раза и составляет ~ 100-120 Å. При этом удельное сопротивление ρ этого слоя не превышало 2-2.5 мкОм·см. Уменьшение толщины переходного слоя и ρ объясняется образованием при ионной бомбардировке на поверхности CdS тонкого (30-40 Å) металлического слоя |
| Аннотация (на другом языке): | For the first time, ultrathin ohmic contacts have been obtained on the surface of CdS using the method of low-energy ion bombardment. The distribution profiles of atoms of the contacting metal (nickel) over the depth of pure CdS and CdS bombarded with Ba + and Ar + ions have been studied. It is shown that ion bombardment leads to a decrease in the near-contact (transition) layer by a factor of two or more and is ~ 100-120 Å. At the same time, the resistivity ρ of this layer did not exceed 2-2.5 μΩ·cm. The decrease in the thickness of the transition layer and ρ is explained by the formation of a thin (30-40 Å) metal layer on the CdS surface during ion bombardment |
| Доп. сведения: | Секция 4. Наноматериалы: формирование и свойства при воздействии излучений = Section 4. Nanomaterials: formation and properties under the influence of radiation |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304244 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 452-454.pdf | 301,53 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.