Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/304244
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТашмухамедова, Д. А.
dc.contributor.authorАбдуваитов, А. А.
dc.contributor.authorЮсупжанова, М. Б.
dc.contributor.authorБолтаев, Х. Х.
dc.contributor.authorУмирзаков, Б. Е.
dc.date.accessioned2023-11-03T13:27:41Z-
dc.date.available2023-11-03T13:27:41Z-
dc.date.issued2023
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 452-454.
dc.identifier.issn2663-9939 (Print)
dc.identifier.issn2706-9060 (Online)
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/304244-
dc.descriptionСекция 4. Наноматериалы: формирование и свойства при воздействии излучений = Section 4. Nanomaterials: formation and properties under the influence of radiation
dc.description.abstractВпервые с использованием метода низкоэнергетической ионной бомбардировки на поверхности CdS получены ультратонкие омические контакты. Изучены профили распределения атомов контактирующего металла (никеля) по глубине чистого CdS и CdS, бомбардированного ионами Ba+ и Ar+. Показано, что ионная бомбардировка приводит к уменьшению при контактного (переходного) слоя в два и более раза и составляет ~ 100-120 Å. При этом удельное сопротивление ρ этого слоя не превышало 2-2.5 мкОм·см. Уменьшение толщины переходного слоя и ρ объясняется образованием при ионной бомбардировке на поверхности CdS тонкого (30-40 Å) металлического слоя
dc.language.isoru
dc.publisherМинск : БГУ
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleПолучение ультратонких контактов на поверхности полупроводников
dc.title.alternativeObtaining ultrathin contacts on the surface of semiconductors / Dilnoza Tashmukhamedova, Akbar Abduvayitov, Mahsuna Yusupjanova, Khurshid Boltaev, Baltohodja Umirzakov
dc.typeconference paper
dc.description.alternativeFor the first time, ultrathin ohmic contacts have been obtained on the surface of CdS using the method of low-energy ion bombardment. The distribution profiles of atoms of the contacting metal (nickel) over the depth of pure CdS and CdS bombarded with Ba + and Ar + ions have been studied. It is shown that ion bombardment leads to a decrease in the near-contact (transition) layer by a factor of two or more and is ~ 100-120 Å. At the same time, the resistivity ρ of this layer did not exceed 2-2.5 μΩ·cm. The decrease in the thickness of the transition layer and ρ is explained by the formation of a thin (30-40 Å) metal layer on the CdS surface during ion bombardment
Располагается в коллекциях:2023. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
452-454.pdf301,53 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.