Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304175| Заглавие документа: | Исследование влияния угла абляции на процессы напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди при лазерном распылении меди в атмосфере воздуха |
| Авторы: | Воропай, Е. С. Коваленко, М. Н. Алексеенко, Н. А. Зажогин, А. П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2023 |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 2023 с. 51-55. |
| Аннотация: | Изучено влияние угла падения сдвоенных лазерных импульсов на целенаправленное формирование компонентного и зарядового состава лазерной плазмы методом лазерной искровой спектрометрии (спектрометр LSS-1). Изучены возможности получения газочувствительных анопленочных резисторов из оксидов меди, с достаточно хорошими механическими и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами мишени, состоящей из сплава меди М2 на подложку из стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены исследования влияния угла падения и количества импульсов на процессы при целенаправленном формирование компонентного и зарядового состава лазерного факела, направляемого на подложку. Методом Орнштейна определена электронная температура в лазерном факеле для различных углов абляции мишени. Оценены параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту. |
| Аннотация (на другом языке): | The influence of the angle of incidence of doubled laser pulses on the purposeful formation of the component and charge composition of laser plasma by the method of laser spark spectrometry (LSS-1 spectrometer) is studied. The possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm copper oxide resistors with sufficiently good mechanical and sensitive characteristics by ablation by double laser pulses of a target consisting of an M2 copper alloy on a fiber- glass substrate in an air atmosphere are studied. The influence of the angle of incidence and the number of pulses on processes in the targeted formation of the component and charge composition of a laser jet directed onto a substrate has been carried out. The electron temperature in the laser jet was determined by the Ornstein method for various target ablation angles. It is shown that the temperature in the laser plume at an ablation angle of 50 deg is approximately 10% higher than at an angle of 90 deg, 5-7% - an angle of 70 deg. The parameters of the sensor sensitivity to ammonia, water, and acetic acid are estimated. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304175 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| ВИТТ 2023_Voropay_51-54.pdf | 342,08 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.