Влияние добавки кремния на элементный состав и структуру покрытий TiAlSiN, TiAlSiCN

Abstract

Сформированы образцы нитридных и карбонитридных покрытий TiAlSiN, TiAlSiCN на различных типах подложек. Проведены исследования элементного состава, структуры и морфологии покрытий. Методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии определен элементный состав покрытий. Методом сканирующей электронной микроскопии изучены их структурные свойства. Структурно-фазовое состояние сформированных покрытий исследовано методом рентгеноструктурного и фазового анализа. Полученные покрытия являются однородными, плотными и не содержат видимых дефектов по всей площади поверхности. Установлено, что уменьшение степени реактивности α от значения α = 0,605 до величины α = 0,421 приводит к увеличению скорости осаждения нитридных TiAlSiN и карбонитридных TiAlSiСN покрытий на Si подложках (TiAlSiN на 200 – 300 %). Обнаружено, что покрытие TiAlSiN обладает однородной однофазной структурой (Ti, Al)N, представляющей собой неупорядоченный твердый раствор с гранецентрированной кубической решеткой (ГЦК)