Ионная имплантация в технологиях кремниевой фотоники

Комаров, Ф. Ф.; Власукова, Л. А.; Мильчанин, О. В.; Пархоменко, И. Н.; Романов, И. А.; Мудрый, А. В.; Wendler, E.; Żuk, J.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/302367

Title:	Ионная имплантация в технологиях кремниевой фотоники
Authors:	Комаров, Ф. Ф. Власукова, Л. А. Мильчанин, О. В. Пархоменко, И. Н. Романов, И. А. Мудрый, А. В. Wendler, E. Żuk, J.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2023
Citation:	Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния : материалы VII Междунар. науч.-практ. конференции, посвященной 120-летию со дня рождения академика Антона Никифоровича Севченко, 18–19 мая 2023 г., Минск / НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А. Н. Севченко» БГУ ; [редкол.: Ю. И. Дудчик (гл. ред.), И. М. Цикман, И. Н. Кольчевская]. – Минск, 2023. – С. 322-324.
Abstract:	В работе рассмотрены результаты исследований по созданию светоизлучающих и фотоприемных приборов УФ-, видимого- и ближнего ИК-диапазонов на кремнии и по кремниевой технологии
Description:	Секция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/302367
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Number, date deposit:	№007528082023, Деп. в БГУ 28.08.2023
Appears in Collections:	2023. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
322-324.pdf		306,95 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar