Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/302367
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorКомаров, Ф. Ф.
dc.contributor.authorВласукова, Л. А.
dc.contributor.authorМильчанин, О. В.
dc.contributor.authorПархоменко, И. Н.
dc.contributor.authorРоманов, И. А.
dc.contributor.authorМудрый, А. В.
dc.contributor.authorWendler, E.
dc.contributor.authorŻuk, J.
dc.date.accessioned2023-10-02T06:46:56Z-
dc.date.available2023-10-02T06:46:56Z-
dc.date.issued2023
dc.identifier.citationПрикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния : материалы VII Междунар. науч.-практ. конференции, посвященной 120-летию со дня рождения академика Антона Никифоровича Севченко, 18–19 мая 2023 г., Минск / НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А. Н. Севченко» БГУ ; [редкол.: Ю. И. Дудчик (гл. ред.), И. М. Цикман, И. Н. Кольчевская]. – Минск, 2023. – С. 322-324.
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/302367-
dc.descriptionСекция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния
dc.description.abstractВ работе рассмотрены результаты исследований по созданию светоизлучающих и фотоприемных приборов УФ-, видимого- и ближнего ИК-диапазонов на кремнии и по кремниевой технологии
dc.language.isoru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleИонная имплантация в технологиях кремниевой фотоники
dc.typeconference paper
dc.identifier.deposit№007528082023, Деп. в БГУ 28.08.2023
Располагается в коллекциях:2023. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
322-324.pdf306,95 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.