Морфология и механические свойства Cr-TiN покрытий осажденных, при различном давлении азота

Бердиев, А. Г.; Федосенко, Н. Н.; Кулеш, E. A.; Емельянов, В. А.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/292856

Title:	Морфология и механические свойства Cr-TiN покрытий осажденных, при различном давлении азота
Other Titles:	Morphology and mechanical properties of Cr-TiN coatings deposited at different nitrogen pressures / А. G. Berdiev, N. N. Fedosenko, E. A. Kulesh, V. A. Emelyanov
Authors:	Бердиев, А. Г. Федосенко, Н. Н. Кулеш, E. A. Емельянов, В. А.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2022
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 342-347.
Abstract:	В работе установлены особенности формирования поверхностной морфологии композиционных покрытий на основе нитрида титана, легированного хромом, а также определена их твердость и модуль упругости в зависимости от расхода рабочих газов. Методами атомно-силовой и электронной микроскопии показано изменение параметров поверхностной морфологии (шероховатости RMS, размера зерна) покрытий в зависимости от состава рабочей газовой смеси. Полученные результаты определяются особенностями осаждения и роста покрытий, а также протеканием процессов химического взаимодействия между элементами в покрытии
Abstract (in another language):	The paper establishes the features of the formation of the surface morphology of composite coatings based on titanium nitride alloyed with chromium and determines their hardness and modulus of elasticity depending on the consumption of working gases. Atomic force and electron microscopy methods show the change in surface morphology parameters (RMS roughness, grain size) of coatings depending on the composition of the working gas mixture. The results obtained are determined by the features of the deposition and growth of coatings, as well as the course of chemical interaction processes between the elements in the coating
Description:	Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/292856
ISBN:	978-985-881-440-3
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:	2022. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
342-347.pdf		1,13 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar