Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/292856| Заглавие документа: | Морфология и механические свойства Cr-TiN покрытий осажденных, при различном давлении азота |
| Другое заглавие: | Morphology and mechanical properties of Cr-TiN coatings deposited at different nitrogen pressures / А. G. Berdiev, N. N. Fedosenko, E. A. Kulesh, V. A. Emelyanov |
| Авторы: | Бердиев, А. Г. Федосенко, Н. Н. Кулеш, E. A. Емельянов, В. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 342-347. |
| Аннотация: | В работе установлены особенности формирования поверхностной морфологии композиционных покрытий на основе нитрида титана, легированного хромом, а также определена их твердость и модуль упругости в зависимости от расхода рабочих газов. Методами атомно-силовой и электронной микроскопии показано изменение параметров поверхностной морфологии (шероховатости RMS, размера зерна) покрытий в зависимости от состава рабочей газовой смеси. Полученные результаты определяются особенностями осаждения и роста покрытий, а также протеканием процессов химического взаимодействия между элементами в покрытии |
| Аннотация (на другом языке): | The paper establishes the features of the formation of the surface morphology of composite coatings based on titanium nitride alloyed with chromium and determines their hardness and modulus of elasticity depending on the consumption of working gases. Atomic force and electron microscopy methods show the change in surface morphology parameters (RMS roughness, grain size) of coatings depending on the composition of the working gas mixture. The results obtained are determined by the features of the deposition and growth of coatings, as well as the course of chemical interaction processes between the elements in the coating |
| Доп. сведения: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/292856 |
| ISBN: | 978-985-881-440-3 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2022. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 342-347.pdf | 1,13 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.