Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/292811| Title: | Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта |
| Other Titles: | Modification of surface layers of silicon and glass by ion-beam sputtering of titanium and cobalt / O. M. Mikhalkovich, S. M. Baraishuk, O. G. Bobrovich |
| Authors: | Михалкович, О. М. Барайшук, С. М. Бобрович, О. Г. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 147-151. |
| Abstract: | Изучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe+ и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. Показано, что облучения кремния ионами Xe с энергиями в диапазоне 10–40 кэВ и флюенсе 10 14 см−2 не вызывает изменения морфологии поверхности. С ростом времени осаждения пленок гидрофильность поверхности стекла снижается |
| Abstract (in another language): | The morphology and hydrophilicity of the surface of metallic (Ti and Co) films on silicon irradiated with xenon ions and on glass deposited with self-ion assisted were studied. It has been shown that irradiation of silicon with Xe ions with energies in the range of 10–40 keV and a fluence of 10 14 cm–2 does not cause a change in the surface morphology. As the time of film deposition increases, the hydrophilicity of the glass surface decreases |
| Description: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/292811 |
| ISBN: | 978-985-881-440-3 |
| Sponsorship: | Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования Республики Беларусь № ГР 20211394 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2022. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 147-151.pdf | 576,23 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.