Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/292803| Title: | Химические транспортные реакции в производстве высокопроводящей керамики и тонких пленок ZnO |
| Other Titles: | The use of chemical transport reactions to obtain highly conductive ZnO ceramics and thin films / G. V. Colibaba, D. Iu. Rusnac, N. V. Costriucova |
| Authors: | Колибаба, Г. В. Руснак, Д. Ю. Кострюкова, Н. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 113-117. |
| Abstract: | Анализируются преимущества спекания высокопроводящей керамики ZnO, легированной донорными металлическими примесями, с участием химических транспортных реакций на основе HCl. Показана возможность многократного повешения проводимости и концентрации носителей тока в пленках ZnO, осажденных магнетронным распылением керамических мишеней. Этот эффект обусловлен стехиометрическим отклонения распыляемого материала и взаимодействием примесей металла и хлора |
| Abstract (in another language): | The advantages of sintering highly conductive ZnO ceramics, doped with donor metal impurities, using HCl-based chemical transport reactions are analyzed. The possibility of a multiple increase in the conductivity and concentration of charge carriers in ZnO thin films, deposited by magnetron sputtering of the obtained ceramic targets, is shown. This effect is caused by the stoichiometric deviation of the sputtered material and the interaction of metallic impurities and chlorine |
| Description: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/292803 |
| ISBN: | 978-985-881-440-3 |
| Sponsorship: | Работа выполнена при поддержки Министерства Образования, Культуры и Исследований Республики Молдова, грант № 20.80009.5007.16 «Фотосенсибилизаторы для применения в фармацевтической медицине и фотовольтаике» |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2022. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 113-117.pdf | 624,98 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.