Физические процессы на подложке при различных ускоряющих потенциалах при осаждении нанопокрытий лазерно-плазменным методом

Пузырёв, М. В.; Гончаров, В. К.; Горбацевич, А. А.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/292766

Title:	Физические процессы на подложке при различных ускоряющих потенциалах при осаждении нанопокрытий лазерно-плазменным методом
Other Titles:	Physical processes on a substrate at different accelerating potentials during the deposition of nanocoatings by the laser-plasma method / M. V. Puzyrev, V. K. Goncharov, А. А. Harbatsevich
Authors:	Пузырёв, М. В. Гончаров, В. К. Горбацевич, А. А.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2022
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 518-522.
Abstract:	Экспериментально изучены процессы, происходящие на поверхности подложки при осаждении нанопокрытий лазерно-плазменным методом при изменении электрического поля ускоряющего ионы. Показано, что сток заряда затруднен с подложки и осаждение нанопокрытий происходит с меньшим КПД при отсутствии электрического поля. Показано, что реализуются три режима взаимодействия ионов с поверхностью при увеличении потенциала электрического поля: травление за счет вторичной эмиссии, создание псевдодиффузионого слоя материала лазерной мишени в приповерхностной зоне и осаждение нанопокрытий
Abstract (in another language):	The processes occurring on the surface of the substrate during the deposition of nanocoatings by the laser-plasma method with a change of the electric field accelerating ions are experimentally studied. It is shown that the charge drain is difficult from the surface from substrate and the deposition of nanocoatings occurs with a lower efficiency in the absence of an electric field. It is shown that three regimes of ions interaction with the surface are realized with an increase of the electric field potential: etching due to secondary emission, the creation of a pseudo-diffusial layer of the laser target material in the near-surface zone, and the deposition of nanocoatings
Description:	Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/292766
ISBN:	978-985-881-440-3
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:	2022. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
518-522.pdf		587,2 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar