Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/292766| Заглавие документа: | Физические процессы на подложке при различных ускоряющих потенциалах при осаждении нанопокрытий лазерно-плазменным методом |
| Другое заглавие: | Physical processes on a substrate at different accelerating potentials during the deposition of nanocoatings by the laser-plasma method / M. V. Puzyrev, V. K. Goncharov, А. А. Harbatsevich |
| Авторы: | Пузырёв, М. В. Гончаров, В. К. Горбацевич, А. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 518-522. |
| Аннотация: | Экспериментально изучены процессы, происходящие на поверхности подложки при осаждении нанопокрытий лазерно-плазменным методом при изменении электрического поля ускоряющего ионы. Показано, что сток заряда затруднен с подложки и осаждение нанопокрытий происходит с меньшим КПД при отсутствии электрического поля. Показано, что реализуются три режима взаимодействия ионов с поверхностью при увеличении потенциала электрического поля: травление за счет вторичной эмиссии, создание псевдодиффузионого слоя материала лазерной мишени в приповерхностной зоне и осаждение нанопокрытий |
| Аннотация (на другом языке): | The processes occurring on the surface of the substrate during the deposition of nanocoatings by the laser-plasma method with a change of the electric field accelerating ions are experimentally studied. It is shown that the charge drain is difficult from the surface from substrate and the deposition of nanocoatings occurs with a lower efficiency in the absence of an electric field. It is shown that three regimes of ions interaction with the surface are realized with an increase of the electric field potential: etching due to secondary emission, the creation of a pseudo-diffusial layer of the laser target material in the near-surface zone, and the deposition of nanocoatings |
| Доп. сведения: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/292766 |
| ISBN: | 978-985-881-440-3 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2022. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 518-522.pdf | 587,2 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.