Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/292762| Title: | Влияние электромагнитной сепарации на поверхностную морфологию и структуру а-С покрытий |
| Other Titles: | Influence of electromagnetic separation on the surface morphology and structure of a-C coatings / D. G. Piliptsov, A. V. Rogachev, S. Y. Chepkasov, K. A. Sakhovsky |
| Authors: | Пилипцов, Д. Г. Рогачев, А. В. Чепкасов, C. Ю. Саховский, К. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 498-503. |
| Abstract: | Определено влияние магнитных полей, возникающих при прохождении импульса тока разряда через свободновисящий фильтр, включенный в разрядный контур испарителя на эффективность разделение ионной и нейтральной компонент потока углеродной плазмы, образующейся при различных энергетических режимах работы испарителя, а также установлены особенности формирования поверхностной морфологии и структуры осажденных при различных режимах сепарации |
| Abstract (in another language): | The influence of magnetic fields arising from the passage of a discharge current pulse through a free-hanging filter included in the discharge circuit of the evaporator on the efficiency of separation of the ionic and neutral components of the carbon plasma flow formed under various energy modes of operation of the evaporator is determined, and the features of the formation of the surface morphology and structure of the deposited different modes of separation of carbon coatings |
| Description: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/292762 |
| ISBN: | 978-985-881-440-3 |
| Sponsorship: | Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования Республики Беларусь (задание 3.1.3 НИР №2) |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2022. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 498-503.pdf | 844,55 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.