Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/292762
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Пилипцов, Д. Г. | |
dc.contributor.author | Рогачев, А. В. | |
dc.contributor.author | Чепкасов, C. Ю. | |
dc.contributor.author | Саховский, К. А. | |
dc.date.accessioned | 2023-01-26T10:06:46Z | - |
dc.date.available | 2023-01-26T10:06:46Z | - |
dc.date.issued | 2022 | |
dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 498-503. | |
dc.identifier.isbn | 978-985-881-440-3 | |
dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/292762 | - |
dc.description | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах | |
dc.description.abstract | Определено влияние магнитных полей, возникающих при прохождении импульса тока разряда через свободновисящий фильтр, включенный в разрядный контур испарителя на эффективность разделение ионной и нейтральной компонент потока углеродной плазмы, образующейся при различных энергетических режимах работы испарителя, а также установлены особенности формирования поверхностной морфологии и структуры осажденных при различных режимах сепарации | |
dc.description.sponsorship | Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования Республики Беларусь (задание 3.1.3 НИР №2) | |
dc.language.iso | ru | |
dc.publisher | Минск : БГУ | |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | |
dc.title | Влияние электромагнитной сепарации на поверхностную морфологию и структуру а-С покрытий | |
dc.title.alternative | Influence of electromagnetic separation on the surface morphology and structure of a-C coatings / D. G. Piliptsov, A. V. Rogachev, S. Y. Chepkasov, K. A. Sakhovsky | |
dc.type | conference paper | |
dc.description.alternative | The influence of magnetic fields arising from the passage of a discharge current pulse through a free-hanging filter included in the discharge circuit of the evaporator on the efficiency of separation of the ionic and neutral components of the carbon plasma flow formed under various energy modes of operation of the evaporator is determined, and the features of the formation of the surface morphology and structure of the deposited different modes of separation of carbon coatings | |
Располагается в коллекциях: | 2022. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
498-503.pdf | 844,55 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.