Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28297| Title: | МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИФФУЗИИ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ПРИМЕСЕЙ В КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУРАХ В ПРОЦЕССЕ БЫСТРЫХ ТЕРМООБРАБОТОК |
| Authors: | Комаров, Ф. Ф. Комаров, А. Ф. Миронов, А. М. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | Разработаны физико-математические модели и проведено численное моделирование процесса диффузии имплан- тированных примесей при быстрых термообработках кремниевых структур. Результаты расчетов с достаточной точно- стью соответствуют результатам экспериментов. Разработан программный комплекс, который интегрирован в систему Silvaco ATHENA. Программы комплекса позволяют моделировать процессы низкоэнергетической имплантации ионов B, BF2, P, As, Sb, C в кремниевые структуры и последующего быстрого термического отжига. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28297 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Комаров АФ.pdf | 401,28 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.