Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28297Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Комаров, А. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Миронов, А. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-01-08T12:06:35Z | - |
| dc.date.available | 2013-01-08T12:06:35Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28297 | - |
| dc.description.abstract | Разработаны физико-математические модели и проведено численное моделирование процесса диффузии имплан- тированных примесей при быстрых термообработках кремниевых структур. Результаты расчетов с достаточной точно- стью соответствуют результатам экспериментов. Разработан программный комплекс, который интегрирован в систему Silvaco ATHENA. Программы комплекса позволяют моделировать процессы низкоэнергетической имплантации ионов B, BF2, P, As, Sb, C в кремниевые структуры и последующего быстрого термического отжига. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИФФУЗИИ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ПРИМЕСЕЙ В КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУРАХ В ПРОЦЕССЕ БЫСТРЫХ ТЕРМООБРАБОТОК | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Комаров АФ.pdf | 401,28 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.