Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28291| Title: | ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ ТОНКИХ ПЛЕНОК ГЕРМАНИЯ НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫХ ГАЗОФАЗНЫМ ХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ |
| Authors: | Зайков, В. А. Гайдук, П. И. Новиков, А. Г. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | Рассмотрено влияние импульсного лазерного отжига на структурные и морфологические свойства слоев Ge на кремниевых подложках, выращенных химическим осаждением из газовой фазы. Методом растровой электронной мик- роскопии установлены режимы лазерной обработки, при которых происходит планаризация поверхности слоев Ge, а также их полное проплавление по толщине. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28291 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Зайков -испр.pdf | 623,35 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.